氦质谱检漏仪故障与处理
内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20Pa时，入口阀2关闭，入口阀3打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10-12Pa·m3/s。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
氦质谱检漏仪的主要配置
北京科创鼎新真空技术有限公司（简称：科创真空）是从事真空系统设计、制造及真空技术服务的专业化公司。公司致力于真空氦检漏设备、非标真空系统设计开发与制造。
1. 检漏仪专用分子泵
2. 机械泵或者干泵
3. 定制检漏仪专用电磁阀
4. 内置标准漏口
5. 放大器
6. 采用质谱专用模块
以上是科创真空为您一起分享的内容，科仪创新专业生产氦检漏，欢迎新老客户莅临。
氦质谱检漏仪的主要及时指标
1. 较小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s
2. 漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3. 启动时间：≤5min
4. 响应时间：≤1s
5. 检漏口的较高压力：1500Pa
6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A
7. 工作环境：5-35℃
8. 相对湿度：≤80%
9. 外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）
10. 重量：64kg
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氦质谱检漏的成本控制
氦气的使用控制
板翅式换热器的体积大，焊缝长度大，氦质谱检测时，需要大量的氦气。氦质谱检漏仪的应用拓展氦质谱检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业，甚至乡镇企业、个体企业，可以说应用领域极其宽广。工业使用的高纯氦气，其成本较高，一瓶达几千元，如果使用高纯氦直接检测其花费的成本大。在进行吸入法和钟罩法时，采用氦气与氮气的混合气进行检测，能使氦气的使用成本下降70%-80%。
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